Kiillotustyynyt ovat tärkeimpiä lisävarusteita, jotka määrittävät kiekkojen pinnan laadun kemiallisessa mekaanisessa kiillotusprosessissa (CMP). Ne koostuvat pääasiassa materiaaleista, kuten polyuretaanivaahdosta, joilla on huokoinen mikrorakenne ja korkea kulutuskestävyys. Sen ydintoimintoihin kuuluvat tasainen paineensiirto, kiillotusnesteen varastointi ja reaktiojäämien poistaminen. Kovuutta säätämällä voidaan optimoida kiekon in-muotin tasaisuus (WID) ja in-lastujen tasaisuus, vastaavasti. Urakuvion suunnittelu vaikuttaa suoraan kiillotusnesteen jakautumistehokkuuteen. Säteittäinen ura parantaa materiaalin poistonopeutta, kun taas rengasura optimoi pinnan viimeistelyn.
Kiillotustyynyn suorituskyky määräytyy 7 ydinindikaattorin avulla:
1.Tiheys: Vaikuttaa muodonmuutosasteeseen
2. Kovuus: Säädä hiontatehokkuutta
3. Paksuus: määrittää paineen tasaisuuden
4. Urakuvio: optimoi nesteen jakautumisen
5. Groove-parametrit: leveys/syvyys vaikuttavat tallennuskapasiteettiin
6. Ulkohalkaisijan tiedot: on mukautettava laitteen kokoon
Polyuretaanikiillotustyynyn koostumus ja rakenne
Polyuretaanikiillotustyynyjen päämateriaalina käytetään yleensä korkean suorituskyvyn{0}}polyuretaania. Polyuretaani on eräänlainen korkeamolekyylinen polymeeri, jolla on hyvä elastisuus, kulutuskestävyys ja kemiallinen stabiilisuus.
Sen rakenne sisältää yleensä kiillotuskerroksen ja taustakerroksen. Kiillotuskerros on suorassa kosketuksessa kiillotetun materiaalin kanssa ja sillä on oltava sopivat kovuus-, karheus- ja huokoisuusominaisuudet tehokkaan kiillotusvaikutuksen saavuttamiseksi; taustakerroksen tehtävänä on pääasiassa tukea ja kiinnittää kiillotuskerrosta, samalla kun se auttaa välittämään kiillotuspainetta ja ylläpitämään kiillotustyynyn yleistä vakautta.
Polyuretaanikiillotustyynyjen suorituskykyominaisuudet
Korkea elastisuus: se sopii paremmin kiillotetun esineen pintaan, ja jopa monimutkaiset kaarevat pinnat voidaan kiillottaa tasaisesti, mikä vähentää paikallista painetta, joka on liian suuri tai liian pieni CMP-kiillotusprosessin aikana, mikä parantaa kiillotuksen laatua.
Korkea kulutuskestävyys: Pitkän{0}}kiillotusprosessin aikana se voi säilyttää oman muotonsa ja suorituskykynsä, eikä sitä ole helppo käyttää, mikä pidentää kiillotustyynyn käyttöikää ja alentaa käyttökustannuksia.
Suuri tasaisuus: Se voi varmistaa kiillotetun pinnan tasaisuuden, mikä on välttämätöntä korkean -tarkkojen optisten komponenttien, puolijohdesirujen jne. käsittelyssä, ja se voi täyttää tiukat pinnan tarkkuuden vaatimukset näillä aloilla.
Korkea stabiilisuus: Erilaisissa ympäristöolosuhteissa (kuten lämpötilan ja kosteuden muutokset jne.) polyuretaanikiillotustyyny voi silti säilyttää suorituskykynsä vakauden ja varmistaa kiillotusvaikutuksen johdonmukaisuuden.