Puolijohdeteollisuuden maailmanlaajuiset ympäristömääräykset tiukentuvat jatkuvasti vuonna 2026, ja PFAS-luokan aineita koskevat rajoitukset kattavat vähitellen kiekkokankaiden sisällä käytettävät kulutusmateriaalit, mukaan lukien CMP-kiillotustyynyt. Perinteisissä huippuluokan CMP-tyynyissä on osittain fluorimodifioituja komponentteja, jotka parantavat kemiallisen lietteen kestävyyttä ja pinnan kostutuskykyä. Sääntelytrendin edessä GaN-käyttöisten CMP-tyynyjen kehittäjien on suunniteltava uudelleen polyuretaanikoostumukset tinkimättä kovien GaN-alustojen kiillotustehosta.
GaN CMP -prosesseissa käytetään usein kiillotuslietettä, jossa on monimutkainen pH-ympäristö ja nanokokoisia hankaavia hiukkasia. Ilman fluorimodifioituja lisäaineita polyuretaanityynymateriaalit altistuvat suuremmille kemiallisen eroosion, huokosten tukkeutumisen ja pinnan vanhenemisen riskille käytön aikana. Materiaalisuunnittelijoiden on säädettävä polyoli-isosyanaattisovitussuhdetta, optimoitava ristisidostiheys ja parannettava itse polyuretaanimatriisin hydrolyysin ja turpoamisen estokykyä korvatakseen osan toiminnoista, jotka alun perin toteutettiin fluoria sisältävillä ainesosilla.
Alan palaute osoittaa, että monet tyynyjen toimittajat ovat edelleen näytetestausvaiheessa PFAS-vapaille GaN CMP -tuotteille. Tämän hetken suurimmat haasteet ovat kolmen keskeisen indikaattorin tasapainottaminen: materiaalin poistonopeus, vikojen hallintakyky ja käyttöikä. Jotkin varhaisen kokeilun fluorittomat tyynyt osoittavat kunnollista pintalaatua lyhytaikaisissa laboratoriotesteissä, mutta kulumisnopeus kiihtyy selvästi jatkuvissa upeissa käyttöolosuhteissa, mikä nostaa kokonaiskulutuskustannuksia kiekkoa kohden.
Polyuretaanin T&K-alustamme pohjalta olemme kehittäneet modifioituja polyuretaanimateriaalilaatuja, jotka on suunnattu PFAS-vapaaseen GaN CMP -tyynyjen valmistukseen. Säätämällä polymeerirunkorakennetta parannamme kemiallista vakautta ilman fluorin lisäaineita. Jatkoketjun kumppanit voivat sovittaa huokosten muodostusprosessia paremmin oman tyynyn suunnittelunsa mukaan. Jatkamme yhteistyötä kulutustarvikekehittäjien kanssa saattaaksemme päätökseen yhteisen todentamisen ja edistääksemme ympäristöystävällisten polyuretaaniratkaisujen teollista soveltamista seuraavan sukupolven GaN-kiekkojen tasoittamiseen.